浙江创JDB电子芯集成电路取得清洗液过滤器专利提高清洗液过滤器的滤芯更换效率
金融界2024年10月26日消息,国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“一种清洗液过滤器”的专利,授权公告号 CN 221867606 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种清洗液过滤器,清洗液过滤器为CMP机器的清洗机中过滤清洗液的机器,清洗液过滤器包括一体化区域,一体化区域包括:壳体;壳体上设置的用于导入CMP机器的清洗机中的清洗液的进液口;壳体内容纳的用于过滤清洗液的滤芯;壳体上设置的用于将过滤后清洗液导出至清洗机的出液口。本申请实施例提供的清洗液过滤器具有一体化设计的一体化区域,并且一体化区域具有壳体、壳体上设置的清洗液的进液口、壳体内设置的过滤清洗液的滤芯、壳体上设置的清洗液的出液口,因此在更换清洗液过滤器的滤芯时,能够通过一体化区域的整体更换,来实现滤芯的更换,提高了清洗液过滤器的滤芯更换效率,并且更换操作较为方便。
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